SEM&EDS在材料检测中的技术应用及分析

    SEM&EDS是扫描电子显微镜和X-射线能量色散谱仪的简称，两者组合使用，既能观察物质表面的微观形貌，又能对其表面进行成分分析，在各类分析工作中被广泛运用。因此在方法选择的时候SEM&EDS很多时候都在考虑的首选项。

     SEM&EDS组合是应用最广的显微分析仪器， 能谱仪(EDS)的发展几乎成为扫描电镜(SEM)的标配，是微区成份分析的主要手段之一。

    此仪器的工作原理是电子束轰击样品表面使发生电子跃迁，产生了二次电子、背散射电子和特征X-射线。而能谱法恰恰就是利用能谱仪探头收集了其中的这部分X-射线进行分析处理形成谱图，从而帮助我们来鉴别元素。