扫描电镜能谱仪（SEM/EDS）

场发射扫描电子显微镜功能及应用简介

设备介绍：

      场发射电子显微镜，它有独一无二的摆动缓冲系统，并结合了5轴驱动载物台，通过不断变换电压可以获得很高的分辨率。配有牛津X-射线电制冷能谱仪，能同时进行导电样品和非导电样品的高分辨成像及元素成分分析。广泛用于冶金、生物、建筑、机械等行业的材料形貌观察及元素成分分析，如金属、半导体、陶瓷、高分子材料、有机聚合物等。

主要技术指标：

分辨率：0.8nm @ 15kV；1.6nm @ 1kV

放大倍数：12 ~ 1,000,000x

加速电压：0.02 ~ 30kV

探针电流：4pA ~ 20nA (12pA~100nA)可选

样品室：330 mm (Ø) x 270 mm (h)

样品台：5轴优中心全自动

X = 130mm；Y = 130 mm；Z = 50mm；T = -3 to 70°（倾斜角）；R = 360°连续旋转

可分析元素范围：4Be～94Pu

主要性能：二次电子形貌（SE2，InLens）、背反射（AsB）、能谱成份图象分析

技术优势：

1. SE2&InLens:

创新的InLens设计是目前世界上唯一真正的内置镜筒电子束光路上二次电子探测器，具有最佳的灵敏度和最高的接收效率，而且只接收来自样品表面的二次电子，因此具有业界最高等级的分辨率和图像质量。

2. 同级别最高分辨率

GEMINI镜筒--ZEISS场发射电镜由于其独特的镜筒设计（GEMINI镜筒），具有无以伦比的成像能力，无交叉光路设计，无Boersch（柏旭）效应，大景深，分辨率高(15KV下分辨率0.8nm)。

3. 复合磁/静电物镜

采用电磁、静电复合式物镜，无漏磁设计，杂散磁场小，可对铁磁体样品进行高分辨率成像。

复合磁/静电物镜的原理和它的等效光学示意图(在样品上无磁场)

4. 五种观察模式:

蔡司扫描电镜的每个镜筒均独立供电所以可提供五种观察模式：分辨率模式、大景深模式、广角模式、分析模式，鱼眼模式。

FE-SEM典型应用实例：

功能总述：金属、非金属及复合材料、生物样品表面形貌、组织结构的观察分析及图象处理；纳米粉及纳米粉体的形貌观察和粒度测量分析；固体材料的表面涂层、镀层进行结合情况观察和厚度测量等。

EDS能谱仪功能模式应用实例：

功能总述：材料实时微区成分分析，元素定性、定量成分分析，快速的多元素线扫描和面扫描分布测量等。